Большой энциклопедический политехнический словарь - плазмохимическая технология

совокупность методов получения в-в с помощью хим. реакций, происходящих в низкотемпературной плазме. Источниками плазмы обычно служат плазматроны. Методами П. т. фиксируют свободный азот атмосферы в его оксидных соединениях - осн. сырьё для произ-ва азотных удобрений; получают ацетилен (из природного газа) и т. н. синтез-газ для произ-ва ниннлхлорида; осуществляют крекинг нефт. сырья н пиролиз бензина; получают сверхчистые в-ва (напр., плёнки кремния, используемые как ПП элементы в электронных устройствах).